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本發明公開了一種測量高Al組分AlGaN材料的刻蝕誘生界面態參數的方法，該方法包括：在藍寶石襯底上外延高Al組分AlGaN材料；利用ICP刻蝕技術對AlGaN材料表面進行處理；制備基于AlGaN材料的無刻蝕處理及經過刻蝕處理的不同條件的肖特...
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