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本發明公開了一種微機械系統中微懸臂梁粘附力的測量結構，包括襯底、被測十字梁、參考十字梁、下拉電極、拉動電極、襯底接觸電極和窄條電極組；被測十字梁由第一橫梁和第一扭轉支撐梁組成，參考十字梁由第二橫梁和第二扭轉支撐梁組成，第一扭轉支撐梁和第二扭...
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