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本發明公開了一種芯片位置和傾角檢測裝置，包括光源組件、光路傳輸組件、攝像組件以及自準直儀，其中光源組件由分別對應于芯片和基板的第一、第二光源構成；光路傳輸組件由第一、第二和第三半透半反棱鏡以及第一、第二反射鏡共同構成，由此在同一光路系統中實...
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