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本發(fā)明公開了一種精密定位隔振平臺，它包括定位隔振裝置和主動控制器，兩者之間通過電氣連接，主動控制器對定位隔振裝置進(jìn)行位置控制和振動控制。定位隔振裝置包括分布在正三角形頂點(diǎn)的三支撐腿及其共同支撐的一塊負(fù)載平板。每一個(gè)支撐腿中有一個(gè)螺旋彈簧作為...該專利屬于華中科技大學(xué)所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過華中科技大學(xué)授權(quán)不得商用。