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本發明提供一種用于拋光基片的外周的拋光裝置。該拋光裝置包括配置成水平地保持基片并轉動基片的旋轉保持機構、設置在基片周圍的多個拋光頭組件、配置成將拋光帶供給到多個拋光頭組件并從多個拋光頭組件收回拋光帶的多個帶供給與收回機構、以及配置成沿旋轉保...
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