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本發明提供了一種機臺傳送部件自清洗方法以及機臺傳送部件。在機臺傳送部件中布置氣體管道，并且向氣體管道通入氮氣，從而使氮氣與晶圓的傳送過程中接觸晶圓的機臺傳送部件區域接觸，以便將所示機臺傳送部件區域上的顆粒帶出機臺傳送部件。從氣體管道的進氣端...
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