溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。

本發明提供的一種介電常數可調整的金屬互連層，包括依次沉積的阻擋層、介質層、金屬導線層和阻擋層，所述金屬導線層設于所述介質層中，所述金屬導線層間的介質層中設有封閉的空隙。本發明的技術方案結構簡單、方法簡便易行、成本較低，應用本發明可以在固定介...
該專利屬于上海華力微電子有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過上海華力微電子有限公司授權不得商用。

詳細技術文檔下載地址

溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。