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本發明涉及半導體制造領域，具體涉及一種化學藥液分配裝置。該裝置包括儲存容器，其內部儲存化學藥液，其頂部設置有注液入口和回液入口，其底部設置有與循環泵的輸入端連接的出液口；采樣閥，其為三通閥，其輸入端連接循環泵的輸出端，采樣端連接熱水注入通道...該專利屬于北京七星華創電子股份有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過北京七星華創電子股份有限公司授權不得商用。
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