溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。
本申請公開了一種鰭形半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的制造方法，包括：提供半導(dǎo)體基板，該半導(dǎo)體基板上具有半導(dǎo)體島與介電層；在該半導(dǎo)體島及該介電層上形成罩幕層；在該罩幕層內(nèi)形成開口，該開口露出該半導(dǎo)體島的頂面以及鄰近該半導(dǎo)體島的該介電層的部分頂面；施行蝕刻程序，同...該專利屬于南亞科技股份有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過南亞科技股份有限公司授權(quán)不得商用。