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本發明提供一種血清腫瘤標志物檢測的巨磁阻抗效應生物傳感器制作方法，步驟為：（1）采用MEMS工藝制作巨磁阻抗效應傳感器；（2）在巨磁阻抗效應傳感器上面制作絕緣層三氧化二鋁，然后甩光刻膠、曝光、顯影、刻蝕三氧化二鋁、去膠，使傳感器引腳暴露在外...
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