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    下載多自由度可替換型電極機構的技術資料

    文檔序號:8343397

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    本實用新型公開了一種多自由度可替換型電極機構,用于向氣體激光器的放電腔提供處于電極工作位置的電極,該電極機構包括傳動機構和安裝在該傳動機構上的多個電極,該傳動機構用于使該多個電極的每一個移動到所述電極工作位置。該電極機構還可包括位于所述電極...
    該專利屬于中國科學院光電研究院所有,僅供學習研究參考,未經過中國科學院光電研究院授權不得商用。

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