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本發明公開了一種碳化硅晶體生長爐控制系統，包括：ARM控制器和受所述ARM控制器控制的壓力控制器、溫度控制器、運動控制器和報警器；壓力控制器：采集爐內壓力數據并將壓力數據傳送到ARM控制器；溫度控制器：采集爐內溫度值并將爐內溫度值傳送到AR...該專利屬于北京七星華創電子股份有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過北京七星華創電子股份有限公司授權不得商用。
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