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    下載在多晶硅鑄錠用坩堝的內(nèi)表面上形成涂層的方法的技術(shù)資料

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    本發(fā)明涉及一種在多晶硅鑄錠用坩堝內(nèi)表面上形成涂層的方法,特別是在無需高溫?zé)Y(jié)的條件下在多晶硅鑄錠用坩堝內(nèi)表面上形成涂層的方法。本發(fā)明還涉及包含使用所述方法制備的涂層的多晶硅鑄錠用坩堝。由于根據(jù)本發(fā)明所述的在多晶硅鑄錠用坩堝內(nèi)表面上形成涂層的...
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