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一種XY兩坐標(biāo)氣浮定位平臺(tái)，其特征是包括底座、X軸基座（2）、X軸導(dǎo)向?qū)к墸?）、X軸直線電機(jī)定子（4）、Y軸基座（6）、Y軸直線電機(jī)定子（7）、Y軸導(dǎo)向?qū)к墸?）、X軸滑臺(tái)（5）、Y軸滑臺(tái)（9）和工作平臺(tái)（10），底座上采用螺栓固定連接的...該專利屬于南京工業(yè)大學(xué);南京工大數(shù)控科技有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過南京工業(yè)大學(xué);南京工大數(shù)控科技有限公司授權(quán)不得商用。