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本實用新型涉及一種半導體LED芯片制作裝置。本實用新型公開了一種高溫蝕刻工藝槽，包括槽蓋、防腐外殼、保溫隔熱層、加熱裝置、抑制氣體揮發裝置、降溫裝置、工藝槽本體、連接供液裝置，所述槽蓋位于工藝槽本體頂部，保溫隔熱層位于防腐外殼內，工藝槽本體...
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