溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。
本實用新型公開了一種微波裂片設(shè)備，屬于微波裂片技術(shù)領(lǐng)域。微波裂片設(shè)備包括加熱腔室、加熱器、微波發(fā)生器、硅片傳輸機(jī)械手、載物臺、測溫系統(tǒng)和控制系統(tǒng)；其中：所述加熱器、測溫系統(tǒng)和控制系統(tǒng)設(shè)置于加熱腔室內(nèi)部，所述微波發(fā)生器設(shè)置于加熱腔室外部；所述...該專利屬于沈陽硅基科技有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過沈陽硅基科技有限公司授權(quán)不得商用。