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本實用新型公開了一種基于MEMS技術的低頻振動加速度傳感器系統,包括基于MEMS技術的加速度傳感器敏感元件、信號傳輸線、低通濾波電路和模數轉換電路,所述基于MEMS技術的傳感器敏感元件的信號輸入端用于感應外部結構振動信號,信號輸出端通過信號...該專利屬于石家莊鐵路職業技術學院;楊要恩所有,僅供學習研究參考,未經過石家莊鐵路職業技術學院;楊要恩授權不得商用。
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本實用新型公開了一種基于MEMS技術的低頻振動加速度傳感器系統,包括基于MEMS技術的加速度傳感器敏感元件、信號傳輸線、低通濾波電路和模數轉換電路,所述基于MEMS技術的傳感器敏感元件的信號輸入端用于感應外部結構振動信號,信號輸出端通過信號...