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    下載提高硅片電性能的退火爐網帶的技術資料

    文檔序號:8287802

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    本實用新型涉及單晶、多晶硅片生產用退火爐,特別涉及一種提高硅片電性能的退火爐網帶,包括網帶本體,網帶本體的上表面設有等間隔的凸起,相鄰兩個凸起之間的間隔為2cm~8cm,凸起凸出網帶本體的高度大致相同,凸起凸出網帶本體的高度為0.5cm~1...
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