溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。

本實用新型公開了一種LED發光二極管外延生長新設備，該設備包括電控箱、混氣箱、反應腔、傳送箱、尾氣處理系統，區別于傳統的圓柱型反應腔，本實用新型所述的反應腔側壁不垂直于外延生長載盤，同時反應腔內的尾氣排放裝置安裝于反應腔的下方，并且尾氣排放...
該專利屬于江蘇漢萊科技有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過江蘇漢萊科技有限公司授權不得商用。

詳細技術文檔下載地址

溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。