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本實用新型涉及一種在線制備太陽能電池導電膜層的磁控濺射裝置，屬于太陽能技術領域，解決連續鍍膜中相鄰陰極靶位之間電磁極性影響磁場分布等技術問題。本實用新型磁控濺射裝置的陰極裝置包括多個連續鍍膜的磁控濺射陰極靶，每個陰極靶的磁體由外環和中間電磁...該專利屬于深圳市創益科技發展有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過深圳市創益科技發展有限公司授權不得商用。
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本實用新型涉及一種在線制備太陽能電池導電膜層的磁控濺射裝置，屬于太陽能技術領域，解決連續鍍膜中相鄰陰極靶位之間電磁極性影響磁場分布等技術問題。本實用新型磁控濺射裝置的陰極裝置包括多個連續鍍膜的磁控濺射陰極靶，每個陰極靶的磁體由外環和中間電磁...