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本實用新型公開一種電子束蒸發(fā)源裝置，其蒸發(fā)源包括坩堝機構、電子束發(fā)生機構、散射電子吸收極及離子收集極，坩堝機構上具有多個坩堝，散射電子吸收極設于坩堝的上方，電子束發(fā)生機構的上端開設有與坩堝相對應的出孔，離子收集極位于電子束發(fā)生機構的上方，電...該專利屬于東莞宏威數(shù)碼機械有限公司所有，僅供學習研究參考，未經(jīng)過東莞宏威數(shù)碼機械有限公司授權不得商用。