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本實用新型涉及一種用于真空鍍膜的工藝氣體二元布氣裝置,包括陰極蓋板,其特征在于:它由蓋板1、主氣板2、底板3和擋板4組成,蓋板1、主氣板2和底板3依次組合安裝在陰極蓋板下表面,擋板4布置在其兩邊。主氣板2下表面交替開有主氣體出氣溝槽和輔助氣...該專利屬于中國建材國際工程集團有限公司所有,僅供學習研究參考,未經過中國建材國際工程集團有限公司授權不得商用。
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本實用新型涉及一種用于真空鍍膜的工藝氣體二元布氣裝置,包括陰極蓋板,其特征在于:它由蓋板1、主氣板2、底板3和擋板4組成,蓋板1、主氣板2和底板3依次組合安裝在陰極蓋板下表面,擋板4布置在其兩邊。主氣板2下表面交替開有主氣體出氣溝槽和輔助氣...