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公開了一種用于防止氣體混合的大面積沉積裝置。本發(fā)明涉及的用于防止氣體混合的大面積沉積裝置使用了多重管結(jié)構(gòu)的噴嘴，將每種氣體供給到不同的噴嘴，因此氣體從腔室噴出時，均勻混合之后，向腔室內(nèi)部均勻噴出。即，能夠利用簡單結(jié)構(gòu)來防止氣體在流入腔室內(nèi)部...該專利屬于泰拉半導體株式會社所有，僅供學習研究參考，未經(jīng)過泰拉半導體株式會社授權不得商用。