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在本文所描述的各種示例性實(shí)施方式中，一種在襯底生產(chǎn)工具中提供氣流管理系統(tǒng)的系統(tǒng)和相關(guān)的方法，其包括：外殼，該外殼將襯底生產(chǎn)工具耦合連接到風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元以提供過(guò)濾空氣給該外殼；將襯底生產(chǎn)工具耦合連接到減壓排放機(jī)構(gòu)的設(shè)施連接件；耦合連接在外殼下...該專利屬于朗姆研究公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過(guò)朗姆研究公司授權(quán)不得商用。