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本發(fā)明提供一種形成圖案的方法以及一種在極限解析力、粗糙度特征、曝光寬容度(EL)及橋接缺陷性能方面優(yōu)越的感光化射線性或感放射線性樹脂組合物。所述形成圖案的方法包含(1)使感光化射線性或感放射線性樹脂組合物形成膜、(2)將所述膜曝光，以及(3...該專利屬于富士膠片株式會社所有，僅供學習研究參考，未經(jīng)過富士膠片株式會社授權(quán)不得商用。