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本發(fā)明提供了平面腔體微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）結(jié)構(gòu)、制造和設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)的方法。該方法包括：采用反向鑲嵌工藝形成至少一個(gè)微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）腔體（60a，60b），該至少一個(gè)微機(jī)電系統(tǒng)腔體具有平面表面。...該專(zhuān)利屬于國(guó)際商業(yè)機(jī)器公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過(guò)國(guó)際商業(yè)機(jī)器公司授權(quán)不得商用。