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本發明提供了一種加熱裝置，用于對載板進行加熱，該加熱裝置與載板相對設置，并且，加熱裝置上與載板相對的表面為曲面，該曲面與載板之間的距離沿上述曲面的中心點到邊緣的方向逐漸減小。采用本發明提供的加熱裝置對載板進行加熱時能夠減小載板中心區域和邊緣...該專利屬于北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司所有，僅供學習研究參考，未經過北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司授權不得商用。