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本發明公開了一種鍺基襯底表面鈍化方法，先對鍺基襯底進行表面清洗，然后將其放入等離子體腔內，利用多鍵原子對應的反應氣體產生等離子體，對鍺基襯底表面進行等離子體浴處理，并且在等離子體浴處理過程中施加引導電場，引導等離子體漂移至鍺基襯底表面。該處...
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