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    下載一種基于稀疏孔徑拼接的平面光學元件檢測方法的技術資料

    文檔序號:8270187

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    本發明涉及一種基于稀疏孔徑拼接的平面光學元件檢測方法。子所述檢測裝置包括:二維平移臺、干涉儀和標準平面透鏡,具體步驟為:將所述平面光學元件固定在二維平移臺上,干涉儀對準所述平面光學元件的位置;調節二維平移臺到達指定目標分布區域,使干涉儀出瞳...
    該專利屬于同濟大學所有,僅供學習研究參考,未經過同濟大學授權不得商用。

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