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    下載具自對準接觸和柵極的石墨烯/納米結構FET的技術資料

    文檔序號:8244232

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    一種形成場效晶體管(FET)的方法,所述方法包括:在襯底上沉積溝道材料,所述溝道材料包括石墨烯或納米結構中的一種;在所述溝道材料的第一部分之上形成柵極;形成鄰近所述柵極的間隔物;在所述溝道材料、柵極和間隔物之上沉積接觸材料;在所述接觸材料之...
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