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高鹵酸和硫酸的混合物在高溫下出乎意料地穩定，并在剝離光致抗蝕劑中是有效的，其包括用較短的處理時間剝離難以處理的注入了離子的光致抗蝕劑。在使用中，在高達145℃的溫度沒有觀察到混合物的分解。在該混合物中，硫酸是高度純化的，并具有96wt％或更...
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