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    下載用于生長半導體裝置的復合生長襯底的技術資料

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    根據(jù)本發(fā)明的實施例的一種方法包含提供包括施主層及應變層的外延結構。該外延結構經(jīng)處理以致使該應變層松弛。該應變層的松弛致使該施主層的面內晶格常數(shù)改變。...
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