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    下載利用加工距離的原位測量的材料加工裝置的技術資料

    文檔序號:8243398

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    本發明涉及一種利用光束發生器(5)的加工光束(4)并且利用光束發生器(5)和工件(6)之間的加工距離(a)的原位測量的材料加工裝置(1)。為此,材料加工裝置(1)具有利用加工光束(4)的加工激光器(13)。包括具有掃描器鏡(31,32)的二...
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