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    下載薄膜的制作方法及制作裝置的技術資料

    文檔序號:8243367

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    本發明提供因各層間的界面產生的能量障壁的影響得到緩和的層疊薄膜的制作方法。一種薄膜的制作方法,其包括以下工序:依次進行以下(1)~(3)而形成含有溶質A的下層的下層形成工序:(1)噴射將溶質溶解和/或分散到溶劑中而成的原料液而形成液滴,(2...
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