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本發明涉及基于表面等離子體共振的光學加速度傳感器。該加速度傳感器包括表面等離子體共振折射率傳感器和氣體膜盒。利用氣體膜盒作為第一級加速度敏感元件，將輸入的加速度變化轉化為新型氣體膜盒內傳感氣體的折射率變化，通過表面等離子體共振折射率傳感器測...該專利屬于中國人民解放軍國防科學技術大學所有，僅供學習研究參考，未經過中國人民解放軍國防科學技術大學授權不得商用。
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本發明涉及基于表面等離子體共振的光學加速度傳感器。該加速度傳感器包括表面等離子體共振折射率傳感器和氣體膜盒。利用氣體膜盒作為第一級加速度敏感元件，將輸入的加速度變化轉化為新型氣體膜盒內傳感氣體的折射率變化，通過表面等離子體共振折射率傳感器測...