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一種應(yīng)用于LED器件分離的多焦點(diǎn)飛秒激光劃片方法，包括：步驟1：將制備好的LED器件固定在水平移動(dòng)平臺上，并位于CCD成像設(shè)備的成像中心；步驟2：在飛秒激光器的激光光路上放置多個(gè)透鏡，將激光分成多個(gè)焦點(diǎn)；步驟3：將多個(gè)焦點(diǎn)聚焦在LED器件襯...該專利屬于中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所授權(quán)不得商用。