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一種掩模臺工作臺，屬于超精密加工和檢測設備技術領域。該掩模臺工作臺含有微動臺、粗動臺和機座；微動臺包含微動臺臺體和洛倫茲電機；洛倫茲電機包含三種洛倫茲電機，每種洛倫茲電機對稱分布在微動臺臺體沿X軸方向的兩側面；粗動臺包含驅動模塊和粗動臺底座...
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