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本發(fā)明提供一種基于金屬—介質(zhì)—探針（Tip-Insulator-Metal,TIM）結(jié)構(gòu)的表面等離子體超衍射光刻方法，其特征是由金屬—介質(zhì)—探針構(gòu)成TIM共振腔結(jié)構(gòu)，光從包含有所述共振腔的基底正入射，在所述探針的針尖激發(fā)局域表面等離子體（L...該專利屬于中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過(guò)中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所授權(quán)不得商用。