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一種六自由度微動工作臺，含有實現微動工作臺在水平面內X方向、Y方向和繞Z軸旋轉的第一種電磁力驅動模塊和實現微動工作臺沿Z方向、繞X軸旋轉和繞Y軸旋轉的第二種電磁力驅動模塊；第一種電磁力驅動模塊和第二種電磁力驅動模塊均采用四組，四組第二種電磁...
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