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本實(shí)用新型的一種多晶硅三氯氫硅介質(zhì)硬密封專用球閥，包括主閥體、副閥體以及球芯、閥座，所述主閥體與副閥體通過螺栓固定連接在一起，閥芯通過閥座設(shè)置在閥體通道中，對閥體進(jìn)行關(guān)閉或者開啟，其特征在于：所述球芯兩側(cè)閥座為左右對稱結(jié)構(gòu)，所述閥座與所述主...該專利屬于重慶海王儀器儀表有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過重慶海王儀器儀表有限公司授權(quán)不得商用。