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    下載一種用于拉制4寸區(qū)熔單晶硅加熱線(xiàn)圈的技術(shù)資料

    文檔序號(hào):8199576

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    本實(shí)用新型涉及一種用于拉制4寸區(qū)熔單晶硅加熱線(xiàn)圈,包括線(xiàn)圈盤(pán)體,位于線(xiàn)圈盤(pán)體的線(xiàn)圈中心外圍設(shè)置線(xiàn)圈臺(tái)階,同時(shí),所述線(xiàn)圈盤(pán)體外圍環(huán)繞設(shè)置環(huán)形線(xiàn)圈水路,此線(xiàn)圈盤(pán)體外徑設(shè)置為70mm-190mm。本實(shí)用新型有益效果為:產(chǎn)品單匝加熱線(xiàn)圈內(nèi)徑小,可形...
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