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    下載光學元件和光學系統的技術資料

    文檔序號:8193979

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    本發明的實施方式的光學元件(10A)具有:對來自被投影物的光進行偶數次反射來使上述被投影物的像成像的反射型成像元件(11);配置在反射型成像元件(11)的光出射側的第1偏振板(22);以及配置在反射型成像元件(11)和第1偏振板(22)之間...
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