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本發明公開了一種應用雙色紅外材料制備探測器芯片的方法及系統,其制備工藝簡單。該方法包括:制備雙色紅外材料;然后進行臺面刻蝕處理和離子注入區刻蝕,在InSb襯底上注入Be離子,形成P-on-N二極管,在HgCdTe材料上注入B離子,形成N-o...該專利屬于中國電子科技集團公司第十一研究所所有,僅供學習研究參考,未經過中國電子科技集團公司第十一研究所授權不得商用。
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本發明公開了一種應用雙色紅外材料制備探測器芯片的方法及系統,其制備工藝簡單。該方法包括:制備雙色紅外材料;然后進行臺面刻蝕處理和離子注入區刻蝕,在InSb襯底上注入Be離子,形成P-on-N二極管,在HgCdTe材料上注入B離子,形成N-o...