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本發(fā)明涉及晶體硅太陽能電池領(lǐng)域，具體的說，是一種在P型硅硅片上制備新型高效，低成本，大面積PN結(jié)的方法。本發(fā)明結(jié)合管式擴(kuò)散爐和隧道爐的優(yōu)點(diǎn)，創(chuàng)新式地在涂覆工藝之后，擴(kuò)散之前添加一道預(yù)熱處理工藝，將擴(kuò)散源先固化在硅片上，再將硅片水平裝入裝片盒...該專利屬于常州大學(xué)所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過常州大學(xué)授權(quán)不得商用。