溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。
本發(fā)明涉及一種Mg/Zr極紫外多層膜反射鏡及其制作方法，在超光滑的硅片或玻璃基底上鍍制打底層，再交替鍍制Mg、Zr膜層形成Mg/Zr周期多層膜，然后在周期多層膜上鍍制B4C作為保護層。與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明采用熔點高、相態(tài)穩(wěn)定的金屬Zr作為...該專利屬于同濟大學所有，僅供學習研究參考，未經(jīng)過同濟大學授權不得商用。
溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。
本發(fā)明涉及一種Mg/Zr極紫外多層膜反射鏡及其制作方法，在超光滑的硅片或玻璃基底上鍍制打底層，再交替鍍制Mg、Zr膜層形成Mg/Zr周期多層膜，然后在周期多層膜上鍍制B4C作為保護層。與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明采用熔點高、相態(tài)穩(wěn)定的金屬Zr作為...