溫馨提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。
本發(fā)明提供了一種位移傳感器構(gòu)造，該位移傳感器構(gòu)造包括設(shè)置在第一方向上的標(biāo)尺光柵；以及標(biāo)尺光成像構(gòu)造，包括第一和第二光路以及包含第一和第二檢測器部分的檢測器。成像部分沿第一光路輸入由標(biāo)尺光柵輸出的第一標(biāo)尺光分量，并向第一檢測器部分傳輸?shù)谝粯?biāo)尺...該專利屬于株式會(huì)社三豐所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過株式會(huì)社三豐授權(quán)不得商用。