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本發明提供了一種用于半導體制造的泵抽吸端口的遮擋蓋。用于半導體制造的半導體制造設備包括渦輪分子泵、渦輪泵閥門、泵抽吸端口；其中，所述渦輪分子泵通過所述渦輪泵閥門與泵抽吸端口相連。所述泵抽吸端口遮擋蓋用于蓋在半導體制造裝置腔體內的泵抽吸端口上...該專利屬于上海宏力半導體制造有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過上海宏力半導體制造有限公司授權不得商用。
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