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本發(fā)明提供一種硬盤用基板用研磨液組合物，該研磨液組合物含有二氧化硅、酸、表面活性劑和水，其中(a)25℃時酸在水中的溶解度大于等于1g/100g飽和水溶液，(b)表面活性劑為以下述通式(1)所示的磺酸或其鹽，且(c)研磨液組合物的pH值為0...該專利屬于花王株式會社所有，僅供學習研究參考，未經(jīng)過花王株式會社授權(quán)不得商用。
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