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一種集成式磁力計,所述磁力計包括多個沉積在基本平坦的襯底表面上的多個多層磁電阻傳感器,所述表面稱為頂面,其特征在于:所述襯底的所述頂面具有至少一個具有多個斜面的腔或凸起,并且至少四個所述磁電阻傳感器置于所述四個斜面上,所述斜面具有不同的取向...該專利屬于國家科學研究中心;原子能與替代能源委員會所有,僅供學習研究參考,未經過國家科學研究中心;原子能與替代能源委員會授權不得商用。
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一種集成式磁力計,所述磁力計包括多個沉積在基本平坦的襯底表面上的多個多層磁電阻傳感器,所述表面稱為頂面,其特征在于:所述襯底的所述頂面具有至少一個具有多個斜面的腔或凸起,并且至少四個所述磁電阻傳感器置于所述四個斜面上,所述斜面具有不同的取向...