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本發明提供一種靜電卡盤及等離子體加工設備，所述靜電卡盤其包括用于承載被加工工件的基座，所述基座包括固定單元和可調單元，所述可調單元嵌套在所述固定單元的外周緣，所述可調單元的上表面可與所述固定單元的上表面齊平或低于所述固定單元的上表面。該靜電...該專利屬于北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司所有，僅供學習研究參考，未經過北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司授權不得商用。